本报讯（融媒记者徐鹤）巨大的吊臂在空中稳稳移动，将一台崭新的商用APCVD（常压化学气相沉积）设备吊运至运输车上，现场技术人员紧张而专注地进行着最后的调试与检查，确保设备以最佳状态交付客户。近日，江苏博涛智能热工股份有限公司首台商用APCVD设备启程发货，标志着这家以工业窑炉起家的企业在新领域实现了跨越性突破。
APCVD设备能精准沉积二氧化硅、氮化硅、硼磷硅玻璃等多种薄膜材料，广泛适用于功率器件、先进封装等领域。该设备各项性能指标均优于同类国产设备，接近国际先进水平，具有多项显著优势。“我们自主研发的APCVD设备采用独特的气体均匀盘设计，能将膜厚均匀性控制在2%以内。”博涛公司研发技术中心崔恒飞轻轻擦拭着设备表面，目光中透着自豪，“这动态摇摆镀膜结构，就像给晶圆做‘按摩’，既能矫正翘曲，又能防止背面沉积，稳定了薄膜质量。”
走进温度恒定24℃、湿度控制在45%的百级洁净车间，空气仿佛都经过“过滤提纯”。“任何0.2微米以上的尘埃都可能成为设备制造过程中的‘隐形杀手’。我们的设备把‘洁癖’做到了极致，将0.2微米以下颗粒数控制在10个以内，比行业常规标准提升了不少。”崔恒飞介绍，设备的单侧维护设计让90%的通用零部件更换像“换灯泡”般简便，常规维护只需10分钟就能搞定，最大限度减少生产线停机时间。
谈及国产化APCVD设备研发的“闯关路”，崔恒飞坦言，精度与稳定性曾是最大“拦路虎”，温度、气体流量、压力的微小波动，都可能让薄膜“长歪”，影响芯片性能。此外，气体与温度的均匀性控制、设备智能化水平不足等，也是长期制约行业发展的瓶颈。针对这些痛点，博涛团队已规划了下一步攻坚方向：通过多点温控与动态气流调整提升温度一致性，引入AI技术实现工艺参数实时优化，结合传感器与大数据打造智能诊断系统，提前预判故障、支持远程维修，让设备“少生病、快康复”。
“我们造的不只是机器，更是客户的‘竞争力引擎’。”公司董事长霍李均的话道出了突围密码。这款APCVD设备没有盲目追求“纸面参数”，而是瞄准国内以成熟制程、功率器件为主的实际需求，设计时遵循“投资少、性能强、皮实耐用”原则，就是要帮客户用更低成本造出更有竞争力的产品。
从工业窑炉到新能源装备，再到如今的APCVD设备，这场跨界突围不仅标志着国产APCVD设备接近国际先进水平，更彰显了中国装备制造业“十年磨一剑”的决心。未来，博涛公司将一如既往以满足市场需求为出发点，聚焦低碳热工，坚持自主创新，助力更多行业、更多客户产出性能更优、成本更低的产品，进一步提升中国智造的竞争力。
